中国传感谷内企业坐褥场景。（辛勤图片）

安徽海车神驭无东谈主装备科技有限公司坐褥现场。本报记者 孙言梅 摄

位于蚌埠市高新区的智能制造产业园技俩，当今1—4号厂房已基本完成，处于全面终结阶段。本报通信员 秦 奋 摄

一部5G手机内置的MEMS（微机电系统）数目已越过20颗，主打“智能化”的新动力车，MEMS的数目更是高达上百颗。要是把集成电路芯片比方成“大脑”，传感器即是智能开导感知世界的“五官”，期骗场景无处不在。

跟着2021年我省初度建议打造“中国传感谷”、加速激动传感器产业发展，蚌埠智能传感产业初露峥嵘。比年来，该市聚焦聚力智能传感产业，以晶圆加工才气为中枢竞争力，诱骗卑劣企业入驻，推动智能传感器产业软硬协同、汇聚发展，遵循打造自主可控芯体最多、种类最全、产值超千亿的智能传感产业集群。

破题缺“芯” 蚌埠MEMS晶圆上线

近日，记者走进位于蚌埠经开区的中国传感谷中枢企业——安徽华鑫微纳集成电路有限公司，数十张办公桌整皆、雅致地排布在大厅里，几十名责任主谈主员紧盯电脑。

“企业的大都开导正在进场，开导供应商在和咱们的工程师、大家查对工程与开导细节。”华鑫微纳业务发展部部长徐海涛先容，企业的194台套开导，到本月底将有80%进场。打算于来岁4月完成串线，6月试产，三季度量产，四季度达产。

该企业的时刻表、任务量和工程程度，不仅事关园区独揽企业，还牵动了长三角传感产业面孔，更影响着国内MEMS芯片产业生态。

“数据表露，旧年全球8英寸MEMS晶圆供货量达到400万片，国内奢华近200万片，而旧年国内产能约9万片。”徐海涛对记者说，华鑫微纳达产后瞻望月产8英寸晶圆1万片，到2027年将达到月产3万片。

MEMS芯片是MEMS传感器中本事和价值含量最高的部分，其与公共熟知的集成电路芯片如CPU、GPU等有许多相同处，都追求在微不雅模范内，以半导体材料为衬底，单片制成晶圆后切割成多片芯片。在晶圆制造经由中所进行的光刻、薄膜千里积、刻蚀、掺杂等单项工艺也大体一致。

蚌埠经开区管委会副主任董想敏先容，华鑫微纳将是蚌埠智能传感器产业的制造基础，助力责罚国内MEMS芯片“卡脖子”问题。手脚国内最初的8英寸MEMS智能传感器晶圆代工企业，华鑫微纳将对外提供绽开式、定制化MEMS晶圆代工做事。这意味着，智能传感器的中枢部件，繁复各类的MEMS芯片将在蚌埠坐褥，向我省乃至世界的智能传感器企业供货，为总共这个词产业链安全提供有劲相沿。

汇聚成势 迸发发展强动能

12月19日，中国传感谷内，安徽海车神驭无东谈主装备科技有限公司的责任主谈主员正在进行无东谈主巡视车的测试责任。“这是咱们的主打家具之一，通过激光雷达传感器、录像头等安设精确感知周围环境，监测安全情状，当今已在社区、病院、学校等范畴鄙俚期骗。”公司干系线路东谈主周永健说。

海车神驭是上海海神机器东谈主科技有限公司在蚌埠投建的智能制造基地，亦然中国传感谷C区首批入驻并投产的企业。除了无东谈主巡视车，该企业还坐褥无东谈主快递车、无东谈主清扫车等，家具的中枢竞争力在于算法、限度器和传感器等软硬件。

“蚌埠是世界三大传感器基地之一，亦然安徽独一、世界未几的同期领有集成电路和MEMS晶圆坐褥线的城市，相接繁多传感器范畴落魄游企业，因此企业选拔落户在此。本年4月投产，10月就入规了。”周永健说。

企业的高质料发展，离不开政府支握。本年头，海车神驭进入试坐褥阶段，因坐褥本事条款较高，企业濒临一线技工虚浮的繁重。蚌埠经开区探访了解情况后，实时组织开展招聘举止，积极对接腹地功绩院校，招聘20多名工东谈主进厂，确保了企业试坐褥的浅近进行。

“在蚌埠经开区干系部门的握续匡助下，当今车间已有70多名工东谈主，保险了5条坐褥线浅近运转，本年将完成产值3000万元。来岁咱们会进一步扩大产能，开拓更普遍的发展空间。”周永健说。

当今，蚌埠市已培育朔方微电子、芯动联科、希磁科技、有家硅光、依爱消防、双环电子等一批行业领军企业。跟着一个个企业加速汇聚，蚌埠智能传感产业集群乘风而起。数据表露，全市智能传感产业干系企业已有200余家，经济范畴总量超百亿元。

做事升级 握续优化产业生态

传感器产业家具品种多、企业范畴小、期骗范畴散布、制造工艺复杂。蚌埠为何将其详情为要点打造的六大产业集群之一？

有行业究诘数据表露，消费电子家具的传感化、自动驾驶、工业4.0和东谈主工智能的兴起，导致全球改日恒久大都的MEMS器件需求。瞻望2029年，全球MEMS晶圆产量将增长到500万片。

蚌埠的想法，是切分传感器产业中改日需求重生、本事门槛高、利润丰厚的智能传感器市集。“依然酿成了多条细分赛谈，各有龙头企业牵引。”董想敏先容，以芯动联科为代表的惯性传感器主要期骗于消费电子，以希磁科技为代表的磁电流传感器装备在新动力汽车等电控场景。

蚌埠市还树立智能传感产业专班，由市酌量牵头改革，如期协调责罚园区莳植发展中的各类问题。为了搪塞智能传感企业相对范畴小、干涉不及，当今已落地驱动总范畴约26亿元的4只基金，引育汇电动力等10余个技俩落地，当今正链接组建总范畴约20亿元的5只基金。

为了责罚企业坐褥的共性需求，蚌埠经开区改革性地由园区代建包括名义处理中心、大批气站等，企业“拎包入住”即可分享这些坐褥做事。园区还建成微电子机械系统（MEMS）国度处所息争工程实际室等近20个改革平台，其中省级以上改革平台9个，与大院大所、知名高校鄙俚结合，为园区企业提供全方向的科研本事相沿。

蚌埠智能传感产业从朔方微电子究诘院一条6英寸MEMS中试线启程，筚路褴褛、久久为功，沿着“一个科研院所带动一个产业发展”的想路沿路走来，当今已成为自主可控芯体最多、传感器种类最全，集研发假想、晶圆制造、封装测试、末端期骗为一体的全产业链相接区。

（记者 强 飞 孙言梅）开云kaiyun.com